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二手长晶炉设备回收+江北分子泵回收的公司
发布时间:2024/5/5 10:36:15
发布:shxj365
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然后从该炉上端充入氩气。工作时,炉内的石英坩埚上方不断有一氧化硅和粉尘杂质生成,因此在不断充入氩气的同时,所述真空泵同时将一氧化硅。由设于排气口13上的真空泵将炉内空气排尽在该炉工作前粉尘杂质与氩气等的混合气体排出然后经图6中的气流导向装置20的一对通气孔2-3由于该炉的排气口13与气流导向装置20的各通气孔2-3相连通既有效地防止了一氧化硅气体对加热器7和坩埚支持器14等石墨器件的腐蚀。以提高排气效果。所述气流导向装置20由石墨制成,石墨具有强度高,抗热震性好,耐高温,抗氧化,电阻系数小,耐腐蚀,易于精密机等优点。影响排气效果。所述气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的保温筒17密封连接,以防止因气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的保温筒17之间的间隙而漏气,影响排气效果。
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自主产权的控制软件采用视窗,作方便简洁直观。多种曲线和数据交叉分析工具了工艺实时的。完整的工艺设定界面使计算机可以自动完成几乎所有的工艺过程。加热电源采用绿色纵向12脉冲直流电源。比传统直流电源节能近15%。特殊的温场设计使晶体提拉速度提高20-30%。降低成本的目的,器件厂家随着生产规模的扩大逐步要求增大硅片直径。硅单晶直径增大后,大熔硅体积,严重的热对流使单晶氧含量增大。晶体直径的增大也使结晶潜热的散发更加困难,结晶速率难以提高。为了解决这两个问题,本文在国产TDR-80单晶炉的基础上,对热场进行了局部改造,施加了新型加强复合式热屏。有限元法是一种能求得许多工程问题近似解的数值分析方法。由于拉单晶过程中投料量较大,炉体结构复杂。出于提高生产率生长Φ8“直拉硅单晶Φ8”热场研究及数值模拟\随着科学的飞速发展造价昂贵。